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客户案例

美国ZYGO 3D表面轮廓仪NewView 7300

合作企业:瑞声科技控股有限公司

详细说明

NewView 7300表面轮廓仪以其极高的精密度和准确度定性和定量地反映出样品的表面粗糙度、台阶高度、关键部位的尺寸以及样品的形貌。测量过程精密,高速,非接触,且样品无需特殊处理。在高速扫描状态下纵向测量范围可以从小于1nm至20000μm,基于ZYGO 专利的扫描技术,无论怎样的表面形貌,放大倍数以及台阶特性,NewView 7300只需一次扫描即可达到0.1nm的纵向分辨率,并获得所有的被测参数。

 

 

系统参数:

◆原理: 非接触、三维白光扫描干涉仪

◆扫描装置: 闭环反馈压电陶瓷,高线性电容传感器,

◆视场放大倍率:高质量分立放大倍率镜头:0.5×,0.75倍率: ×,1.0×,1.5×,2.0×

◆成像放大: 电动3 位系统成像放大

◆视场:0.03-14mm,跟物镜和放大倍率有关,运用图像拼接技术可以得到更大范围

◆光源: 均匀成像,高效率,特殊设计长寿命白光LED物镜座标配:可快速装卸单物镜夹具

◆控制 :滤光板托架,视场光阑(辅助聚焦)

◆测量阵列:标配640×480 像素;640×480,320×240,160×120 像素,可选更高分辨率992×999

◆样件观察: 专用液晶显示屏实时观察

◆精密聚焦 :电控手动和自动聚焦

◆Z 轴驱动:直流无刷微步进电机驱动,200mm 行程,0.1μm 精度

◆尺寸:157×132×89cm ,NewView:81×58×41cm ,防振台:76X61X61,工作台:85X132X89cm 

◆重量 :系统重量:约430Kg

◆输入电压: 100-240VAC,50/60 Hz

◆计算机: 带液晶显示器的高性能DELL 计算机

◆软件:ZYGO MetroPro 软件

◆物镜座: 可快速装卸单物镜夹具 ,选件:手动6 位塔台;电控 6 位塔台;

◆样品台:手动,俯仰(±6°)和XY 平移(±50mm),电动,俯仰(±4°)和XY 平移(±76mm)电动, 俯仰( ± 4 ° )X-Theta (orY-Theta)和XY 平移(±76mm) 三种可选

◆纵向扫描:150μm,拓展扫描模式可到20mm,

◆纵向分辨率 <0.1nm,横向分辨率 0.36~9.5μm,与所选物镜有关,

◆扫描速度 ≤135μm/sec,与所选的CCD 和扫描模式有关

◆最大数据点: 标准307200;可选984064;

◆RMS 重复性 <0.01 nm, RMSσ

◆台阶测量 :准确度 ≤ 0.75% ;重复性≤ 0.1% @ 1σ

◆测样品特性:各种材料的表面:透明,不透明,镀膜,非镀膜,反射,弱反射

◆最大尺寸: 89×203×203mm(高×宽×长);反射率: 1-100%


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